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接触式方法校验步距规的局限

编辑:永利电玩城????来源:未知????发布时间:2020-02-05 20:38????浏览量:
由于步距规具有较强的实用性,步距规已经成为长度领域最重要的计量器具之一。随着其广泛应用,步距规的仪器校验技术也在不断发展,高精度步距规最常见的仪器校验方法是采用双频激光干涉仪和坐标测量机相结合[3],美国、德国、日本和中国计量科学研究院等都是采用这种方法[4]。该方法属于接触测量,坐标测量机测头在步距规工作面的中心位置触发定位,激光干涉仪显示长度示值[5]。因为测量时,测头由一个工作面到达下一个工作面需要上下移动,因此其在各测量面上触点的连线实际上是一个二维的折线,偏离了步距规工作尺寸线的定义,同时测头本身因测杆挠动和机械姿态不同也会产生定位误差,测量过程中触发测头的移动途径如图所示。所以采用接触式方法进行步距规校验,测量过程中测头的上下移动及其定位重复性的局限使得步距规测量准确度的提高受到限制。
 仪器校验
考虑接触式方法具有不可避免的局限性,中航工业集团企业北京长城计量测试技术研究所开展了非接触测量法步距规校验技术研究,采用光电显微镜实现了步距规的定位瞄准,并研制了“非接触式步距规校验装置”。该装置克服了上述接触法所遇到的问题,使得步距规定位瞄准精度得到显著提升,瞄准重复性达到了 20 nm,大大提升了步距规校验的准确度。

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