永利电玩城

如何设计真空机的永利电玩城检测装置

编辑:永利电玩城????来源:未知????发布时间:2019-04-03 13:55????浏览量:
  引言
真空计是用来测量绝压状态下大气压力的仪器,广泛运用于军工、电子、医疗、食品、电力、冶金、化工等领域,现代行业对真空计量不断增长的需要和越来越高的要求,促进了真空计量技术的发展 [1 ] ,目前行业中对真空度的要求普遍已达到10-3Pa 。真空计永利电玩城装置是包含标准器、真空泵、真空阀门及连接管道在内的一套完整的测量系统,一般体积较大,不便移动,多在实验室内固定使用。传统的真空计永利电玩城方式是先将现场使用的真空计拆下来,再送实验室永利电玩城,而在实际工作中,多数真空设备使用的真空计固定在装置上无法拆卸,有的需要与集控室连接,不便送检 [2 ] ;一些真空计没有控制单元,直接通过计算机采集数据,无法送检。为应对企业对于真空计现场永利电玩城的需求,大家研制了这套真空计永利电玩城装置 [3 ] 。
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1  永利电玩城装置
装置主要由永利电玩城系统、抽气系统和控制系统组成。整体尺寸为400mm×450mm×500mm ,总重量小于 40kg 。永利电玩城装置原理图如图 1 所示。
1.1  永利电玩城系统
永利电玩城系统由真空计标准器及永利电玩城室组成。真空计标准器包含 3 只 MKS 薄膜真空计和 1 只 370电离真空计,工作时根据被测真空计的量程选择合适的标准器。为了研究不同永利电玩城室对装置的性能影响,加工了相同直径的球形、椭球形和圆柱形3种永利电玩城室。经过对比试验,确定球形永利电玩城室的均匀性和稳定性更好,如图2所示。在保证系统稳定性的前提下,以尽可能提高系统工作效率为目的,最终确定了合理的球形永利电玩城室容积。永利电玩城系统采用了模块化分体设计 [4 ] ,标准器及永利电玩城室均可根据 现 场 实 际 检 测 需 要 进 行 拆 卸 组 装,搭 配连接。.
 
1.2  抽气系统
抽气系统主要由机械泵和分子泵组成,在充分考虑系统的极限真空度高、抽速快、体积小、重量轻、噪声低、方便操作使用等要求,经过对比最终选择了 ULVAC机械泵和 Agilent企业分子泵。
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1.3  控制系统
控制系统主要包括前级阀、预抽阀、高真空主抽阀、微调进气阀等阀门以及标准真空计的控制单元。通 过 阀 门 的 切 换 控 制,达 到 所 需 要 的 真空度。为使装置达到高真空 [5 ] 要求,在加工过程中,对真空室材料进行了电抛光和高真空除气处理,降低了材料本身的含气率;尽量采用 CF金属密封结构设计,减少了管路中橡胶垫圈的数量,降低了系统放气速率;装置选用手动高真空金属波纹管密封阀代替电磁阀,减少电气系统温度的影响。通过以上措施,装置极限真空度可达到 10-6 Pa 。2
 
  永利电玩城方法
2.1  静态比较法
在( 10-1~1×105 )Pa范围内 采用静态比较法 [6 ] 进行测量。以MKS 薄膜真空计作为标准器,当到达永利电玩城点时,关闭预抽阀,稳定后在静态条件下实现对真空计的永利电玩城。2.2  动态平衡法动态平衡法 [7-8 ] 适用于永利电玩城范围为(1×10-3 ~10-1 )Pa 的真空计。永利电玩城时通过分子泵将永利电玩城室抽至小于 10-5 Pa 以下的本底压力后,调节装置顶部的微调进气阀,向永利电玩城室注入气体增压,以 370 电离真空计作为标准器进行永利电玩城。
 
3  不确定度评定
3.1  测量不确定度评定
装置的测量不确定度影响量 [9 ] 主要来源于本底压力、标准器示值影响、永利电玩城室温度变化影响、静态升压率影响以及动态压力稳定性影响。各影响量汇总表如表1所示。3.2  不确定度验证为对测量结果进行验证,选取1只电离真空计和1只薄膜真空计作为传递标准,用本装置永利电玩城后,送至中国计量科学研究院进行永利电玩城,并比较永利电玩城结果。本装置的永利电玩城结果和扩展不确定度为 X lab 和U lab ,中国计量科学研究院的永利电玩城结果和扩展不确定 度 为 X ref 和 U ref ,均 满 足 X lab - X ref≤U 2 lab + U 2 r槡ef ,验证结果满足要求。
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4  结论
研制了一台便携式真空计现场永利电玩城装置,采用分体式设计,结构紧凑,性能可靠,静态升压率和动态稳定性分别满足静态比较法和动态平衡法的计量性能要求,在(1×10-3 ~1×10 5 )Pa的测量范围内相对扩展不确定度 U rel = ( 5~0.5 ) % ( k =2 )。实现了对真空计及真空系统的现场永利电玩城,解决了真空计只能实验室送检的局限性,由单一的永利电玩城真空计规管的方式转变为现场对整个真空系统的永利电玩城,更加符合真空装置的现场使用状态,提高了永利电玩城效率和准确性。

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